講義内容

14:30~16:00 電気評価技術:「半導体の物性値の計算、温度特性の計算 + AI利用によるプログラムの作成技術紹介」 
神谷 利夫 (東京科学大学)

内容:

  1. 生成Ai の注意
  2. 生成AIを使ったプログラム作成の実演
    ・ van der Pauw法の形状補正因子の計算プログラム
  3. キャリア濃度の温度依存性の計算プログラム
    ・ 半導体統計・電子構造の基礎
      自由電子近似で、EFを与えて電子密度を計算
      Fermi-Dirac分布関数、Fermi-Dirac積分の実装に関する注意
    ・ イオン化ドナー・アクセプター濃度 ・電荷中性条件からEFを計算(二分法) 
    ・ 温度を変えてループを回して、EF, ne, nh, ND+, NA-, RHall, Hall因子, L, Sの温度変化を計算、プロット
    ・ ドナー・アクセプターのFermi-Dirac関数に関する注意 
  4. 散乱モデルによる移動度の温度依存性 
     粒内散乱モデル
     粒界散乱モデル (Setoモデル)
  5. 最小二乗フィッティング
    ・ 粒内移動度のフィッティング
     線形最適化
    ・ 多結晶半導体のSetoモデルへのフィッティング
     非線形最適化
    ・ キャリア密度の温度依存性のフィッティング
     非線形最適化
    ・ フィッティングパラメータ、データの推定誤差
  6. 散乱因子依存の半導体物性の計算 (Hall因子、Seebeck係数)