講義内容
14:30~16:00
電気評価技術:「半導体の物性値の計算、温度特性の計算 +
AI利用によるプログラムの作成技術紹介」
神谷 利夫 (東京科学大学)
内容:
- 生成Ai の注意
- 生成AIを使ったプログラム作成の実演
・ van der Pauw法の形状補正因子の計算プログラム
- キャリア濃度の温度依存性の計算プログラム
・ 半導体統計・電子構造の基礎
自由電子近似で、EFを与えて電子密度を計算
Fermi-Dirac分布関数、Fermi-Dirac積分の実装に関する注意
・ イオン化ドナー・アクセプター濃度
・電荷中性条件からEFを計算(二分法)
・ 温度を変えてループを回して、EF, ne, nh, ND+, NA-, RHall, Hall因子, L, Sの温度変化を計算、プロット
・ ドナー・アクセプターのFermi-Dirac関数に関する注意
- 散乱モデルによる移動度の温度依存性
粒内散乱モデル
粒界散乱モデル (Setoモデル)
- 最小二乗フィッティング
・ 粒内移動度のフィッティング
線形最適化
・ 多結晶半導体のSetoモデルへのフィッティング
非線形最適化
・ キャリア密度の温度依存性のフィッティング
非線形最適化
・ フィッティングパラメータ、データの推定誤差
- 散乱因子依存の半導体物性の計算
(Hall因子、Seebeck係数)