| Original | Translated | Corrected |
|---|---|---|
| 高温におけるキャリア密度と移動度の不安定性 | Instability of Carrier Density and Mobility at High Temperatures | |
| Boltzmann型温度依存性を仮定 | Assuming Boltzmann-type Temperature Dependence | |
| 1st cycle 58cm2/Vs | 1st cycle 58cm2/Vs | |
| 本研究の目的 | Purpose of the Study | |
| 信頼できるHall効果測定方法 | Reliable Hall Effect Measurement Methods | |
| 温度依存性の解析 | Temperature Dependency Analysis | |
| a-IGZO (In:Ga:Zn = 1:1:1)の最大移動度は？ | What is the maximum mobility of a-IGZO (In:Ga:Zn = 1:1:1)? | |
| 最終目的 | Ultimate Goal | |
| 高温Hall効果測定 | High Temperature Hall Effect Measurement | |
| 単一ドナー準位モデル パーコレーションモデル | Single Donor Level Model Percolation Model | |
| 繰り返し測定、熱履歴による不安定性 →原因 | Repeated measurements, instability due to thermal history → Cause | |
| 実験 Ⅰ | Experiment I | |
| a-IGZO 成膜条件 －RFマグネトロンスパッタリング－ | a-IGZO Film Formation Conditions - RF Magnetron Sputtering - | |
| RF 出力 : 70 W | RF Output: 70 W | |
| Ar/O2 比 : 19.4 : 0.6 sccm | Ar/O2 ratio: 19.4:0.6 sccm | |
| 全圧 : 0.55 Pa | Total Pressure: 0.55 Pa | |
| 成膜時間 : 9 min | Deposition Time: 9 min | |
| 膜厚 : 40 nm | Membrane Thickness: 40 nm | |
| ターゲット : 多結晶 InGaZnO4 | Target: Polycrystalline InGaZnO4 | |
| a-IGZOスパッタリング | a-IGZO Sputtering | |
| フォトリソグラフィー | Photolithography | |
| ITOスパッタリング | ITO Sputtering | |
| 測定サンプル作製プロセス | Sample Preparation Process for Measurements | |
| 電極: ITO | Electrode: ITO | |
| アニール（N2→O2, 300oC） | Anil (N2→O2, 300°C) | |
| ACホール測定 - van der Pauw - | ACホール測定 - ヴァン・デル・パウ法 - | |
| ホール磁場 ：0.34T | Magnetic Field Strength: 0.34T | |
| 温度 ：高温測定 室温~300oC | Temperature: High Temperature Measurement Room Temperature ~ 300°C. | |
| 低温測定 室温~160K | Low Temperature Measurements: Room Temperature to 160K | |
| 測定雰囲気 ：酸素 | Measurement Environment: Oxygen. | |
| 結果：キャリア密度の緩和と | Results: Alleviating Career Density | |
| 移動度の関係 | Mobility Relationships | |
| 酸素雰囲気 | Oxygen Atmosphere | |
| 一定温度でHall測定を | Hall measurement at a specific temperature. | |
| 繰り返すと、非常に大きな | Reiteration: Extremely Significant | |
| μの値を得た。 | Obtained the value of μ. | |
| この値は信頼できるのか？ | Is this value reliable? |